光滑測微儀又稱光滑測量儀，其底座材質為大理石所以也稱大理石測微儀、巖石測微儀、花崗巖測微儀。光滑測微儀主要用于對精密零部件的平行、平面測量。因底座為大理石材質平面度正確度較高，所以在其表桿上方可配合千分表、百分表、電子測頭對零件或成品進行相對測量之尺寸的精密檢驗。